入驻产品

• 基恩士 数码显微系统 VHX-X1系列

产品除级别超高*分辨率4K CMOS和支持4K的镜头外，还搭载了Advanced Optical Shadow Effect Mode功能，甚至能够清晰地观测到看不到的细小凹凸。全新操作系统，可直观操作。瞬间自动判别差异的异常识别功能、分析范围是传统平台9倍*的300 mm大型平台以及支持金相显微镜的高分辨率旋转镜头等，是一个通过各种自定义来支持各种分析业务的全新显微镜系统；在电子、半导体、锂电池、汽车、医药等众多行业应用广泛。

产品特性

自动突显瑕疵的“搜索照明”

• 在照明不断实时切换的同时进行观测
• 细微形状自动突显
• 广泛应用于外观检测以及研究开发等各种情况

突显真实表面状态的“Advanced Optical Shadow Effect Mode”

组合多方向光源，甚至可清晰地观测到看不到的细小凹凸

*与本公司VHX-7000 系列产品的比较

瞬间自动判别差异的“异常识别功能”

从图像的亮度和色相来判断与OK图像的差异，并根据变化程度以颜色显示。可瞬间显示目视检测以及显微镜检测中经常被忽视的细微差别。

*不磨刃刀片（15×）

可根据各种分析业务进行自定义

适用于各种目标物的丰富的平台系统。不断进化的基恩士光学镜头。

• 基恩士 形状测量激光显微系统 VK-X3000系列

产品特性

采用了三重扫描方式，运用激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，高倍率和低倍率，平面、凹凸表面的细微粗糙度，以及镜面体，透明体等。VK拥有应对多种样品的测量能力（从 1 nm 到 50 mm），纳米/微米/毫米一台完成测量。

1、Basic Characteristics

观察

从光学显微镜到SEM领域一台设备涵盖

·42 至 28800 倍

·无需对焦

·适用于多种样品

测量

非接触瞬间扫描形状

·不会损伤目标物

·纳米级别也可准确测量

·透明体和坡度大的目标物也可测量

分析

希望了解的表面“差异”一目了然

·定量化微小形状

·轻松比较多个样品

·粗糙度分析

2、三重扫描方式解决“难以测量”的难题

可根据样品工件的材料、形状和测量范围，选择激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，进行高精度测量。

3、纳米级分辨率

即使是纳米级的微小形状变化也能准确测量。

此外，如镜面体、透明体等测量难度高的材料也能实现高速、高精度、大范围的测量。

4、连高度差较大的凹凸处和大范围区域也能测量

扫描区域50 mm见方。

凹凸不平或手掌大小的物体也能整体扫描。

只需一台设备，即可同时掌握整体形状和局部形状。

5、精确测量高倍率和低倍率。平面和凹凸面。

适用于各种目标物的测量能力

测量案例

Si 晶片背面 │ 3000 倍

表面粗糙度测量

MEMS │ 2 mm × 2 mm

提供：Matthieu Denoual 博士（GREYC/CNRS, ENSI de Caen,France）与东京大学研究生院三田吉郎研究室

相机卡口部端子 │ 30 mm × 12 mm

端子的形状测量

• 基恩士 3D轮廓测量仪 VR-6000系列

产品特性

• 3D 轮廓测量仪“VR-6000 系列”以非接触方式直接实现粗糙度仪、形状轮廓测量仪的测量。
• 3D 轮廓测量仪以 0.1 µm 分辨率捕捉触针式无法充分测量的面整体形状。还新搭载了电动旋转单元。
• 在旋转样品的同时进行测量，能够消除死角，再现真实的截面形状。可简单测量壁厚及凹陷尺寸。
• 另外，采用 HDR 扫描算法提升了扫描能力，即使是光学轮廓测量仪不擅长的有光泽的目标物或材料反光弱的目标物，
• 也能瞬间判断理想条件，正确测量形状。与传统机型*相比，能够将动态范围扩大到 1000 倍进行扫描。

*与本公司VR-5000 产品的比较

1、对整个面进行高精度3D 测量

以亚微米级将细微形状、起伏可视化

2、消除死角，光泽面也可测量

通过HDR 扫描算法，可测量的材料增加

通过旋转、拼接消除死角后测量

3、一台应对图纸指示

不再需要区别使用测量仪

各行业用途事例

1、半导体、电子元件方面

电池起伏确认

质量保证、质量管理部门

通过高度彩色显示可视化变形形态，可以明确地了解中间与端部的差异。

能够依据测量数据与其他部门等进行迅速的对策探讨，有助于分析能力提高。

不良分析 印刷电路板连接器 平行度测量

质量保证、质量管理部门

作为连接器插入不良部位的分析方法，实施难度大的以背面基准进行的平行度测量、尺寸测量成为可能。

通过分析能力提升，也有助于提高对交易方的信赖性。

2、化学、医药、食品方面

初品检查罐（冲压件厚度管理）

不需要切割产品、使用手动工具进行夹持作业。

缩短初品检查、抽样检查的时间，可使生产效率提高。

3、运输金属方面

滚针耐久试验后的状况确认

开发、设计部门

因为可在短时间内把握整个面的状态，所以可以正确地了解在什么样的地方发生了什么样的形状变化。

由于可对难以注意到的部分进行可视化、量化，可提高试验评价的质量。

反光器、树脂成型不良确认

质量保证、质量管理部门

针对市场上的问题件，通过与CAD 数据对比，查清问题部位不再费事，可削减分析作业的工时。